無油螺旋真空泵浦（Oil-Free Screw Vacuum Pump），是一種利用一對互相嚙合的螺旋轉子在泵體內相對旋轉，在轉子之間形成腔體來吸入和排出氣體的乾式真空泵浦，無須使用真空油，實現了無油、無水、無污染的運行特性，具有高效、節能、環保等優點，適用於對潔淨度要求高的工業應用，如：電子、製藥、半導體、光學薄膜等領域。

微油螺旋真空泵浦（Oil-injected Screw Vacuum Pump），是一種利用螺旋轉子結構進行氣體壓縮與抽氣的乾濕混合式真空設備，在壓縮腔中注入少量潤滑油來達到密封、冷卻和潤滑效果，將空氣從進氣端吸入並沿轉子方向推進壓縮，最終排出。